Consejo Nacional de Investigaciones
Científicas y Técnicas
SEM
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Microscopía Electrónica de Barrido

Las imágenes de microscopía de barrido (SEM, Scanning Electron Microscopy) proporcionan una imagen tridimensional de la superficie de la muestra con un nivel de detalle y profundidad de campo muy superiores a la microscopía óptica convencional.

 

El haz de electrones, al recorrer la muestra, arranca electrones secundarios de la misma que son captados y convertidos en tonos más claros o más oscuros en función de su intensidad. Dicha intensidad está relacionada directamente con la orientación de las distintas superficies hacia el captador, por lo que girando e inclinando la muestra podemos adaptar a nuestro gusto la dirección de las luces y sombras de forma que destaquen los detalles más significativos de la muestra.

 

El Supra55VP -en funcionamiento en el CIME- permite el examen de superficies hasta escalas nanométricas ya sea a alto vacío o a presión variable (VP, 20 a 40 Pa). Tiene un módulo Espectrómetro de energía de dispersión de rayos X (EDXS) para el análisis elemental y el mapeo, un sistema para la orientación de los cristales detección de electrones retrodispersados (EBSD), mapeo de fase usando patrones Kikuchi, y el Sistema de generación de patrones nanométricas (NPGS), que proporciona una potente herramienta, versátil y fácil de usar para litografías por haz de electrones.

 

 

SEM-BSE. Las imágenes de barrido de electrones retrodispersados (BSE, Back-Scattered Electrons) forman una imagen de la superficie de la muestra en la que cada nivel de gris es distinto para cada uno de los elementos que la forman. Los electrones retrodispersados proceden del haz, y son aquellos que salen despedidos por la muestra. La probabilidad de que estos sean expulsados y alcancen el detector es directamente proporcional al peso atómico de cada elemento presente en la superficie de la muestra. Cuanto más pesado el elemento, mayor cantidad de electrones son retrodispersados y generan zonas más brillantes en la imagen, y viceversa.

 

EDXS. El microanálisis por dispersión de energías de rayos X (EDXS, Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) es una técnica rápida y eficiente para detectar la composición elemental de una muestra a nivel micro y nanométrico, con un rango de detección desde el Boro en adelante. Un detector capta los rayos X producidos en la parte de la muestra que es rastreada o bombardeada por los electrones, y un sistema digital relaciona las distintas energías e intensidades con distintos elementos y sus proporciones, generando el típico espectro que puede verse en la imagen. El control del haz de electrones permite hacer análisis de áreas, líneas, puntos, multipunto y mapeados, proporcionando una información composicional muy valiosa a la hora de interpretar las imágenes.



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